圓形陰極設(shè)計(jì)特點(diǎn)：
1.水冷采用大截面直接水冷結(jié)構(gòu)，縮短磁鐵和靶材間距；
2.主體支架采用聚四氟乙烯材料，提高了絕緣性能；
3.所有電的引入部分，采用高純無(wú)氧銅材料，降低了接入電阻分布；
4.磁鐵采用高均勻性釹鐵硼材料，提高了水平磁場(chǎng)強(qiáng)度和分布均勻性。
磁控濺射陰極具有如下優(yōu)點(diǎn)：
1.適用于高功率密度濺射，濺射速率高；
2.濺射陰極使用壽命長(zhǎng)；
3.靶材利用率高，達(dá)到40%以上；
4.濺射薄膜厚度均勻性和成份一致性好，可以達(dá)到±3%以內(nèi)。
圓形陰極規(guī)格：
陰極型號(hào) | 擋板模式 | 適用電源 | 靶材規(guī)格 | 氣路分布 | 磁場(chǎng)設(shè)計(jì) |
2in.圓形陰極 | 手動(dòng)、氣動(dòng) | DC/P-DC/RF | Φ50mm | 可選 | 強(qiáng)磁/標(biāo)準(zhǔn) |
3in.圓形陰極 | 手動(dòng)、氣動(dòng) | DC/P-DC/RF | Φ76mm | 可選 | 強(qiáng)磁/標(biāo)準(zhǔn) |
4in.圓形陰極 | 手動(dòng)、氣動(dòng) | DC/P-DC/RF | Φ100mm | 可選 | 強(qiáng)磁/標(biāo)準(zhǔn) |
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