規(guī)格：
靶材外徑：70mm, 100mm, 152mm
安裝方式：背包外裝式，插入側(cè)裝式
磁場發(fā)散角：標(biāo)準(zhǔn)，較小
磁場強度：普通，強
特點：
端頭部分：
? 端頭內(nèi)部絕緣處理，外露件不導(dǎo)電;
? 端頭絕緣采用PEEK材質(zhì)，保證端頭強度與絕緣性能;
? 端頭采用大電流電刷，保證陰極大電流穩(wěn)定工作;
? 接線電纜直接與電刷連接，提高導(dǎo)電效果;
? 端頭密封軸噴涂超高硬度涂層，超長密封壽命;
? 進(jìn)口定制油封，大大延長油封壽命;
磁棒部分：
? 磁鋼自身多重涂層防護(hù);
? 磁鋼與水隔離，根源上杜絕失效風(fēng)險;
? 高靶材利用率：70%-80%;
? 多重檢測，磁場均勻性優(yōu)于+/-2%;
? 磁場均勻性可調(diào)節(jié)，400-1500Gauss
? 磁場強度可根據(jù)要求定制：300-1000Gs;
? 磁場發(fā)散角小：更多靶材沉積到基片上。
